Vegyünk példának egy 4- hüvelykes monokristályos szilícium lapkát:
Ahogy fentebb látható:
Irányultság: <100>a szilícium lapka krisztallográfiai orientációját jelzi. Ez az orientáció fontos hatással van az ostyán lévő eszközök elektronikus tulajdonságaira és gyártási folyamatára.
Típus:A P (Bór) egy primer lappal azt jelenti, hogy az ostya P-típusú szilícium, azaz bórral van adalékolva, hogy felesleges lyukakat hozzon létre. Az "egy elsődleges lap" az ostya élének alakjára utal, amely segít a kristályrács irányának azonosításában.
Ellenállás:1-10 Ohm-cm az ostya ellenállása.
Fokozat:A Prime / CZ Virgin a szilícium ostya minőségét és tisztaságát jelzi. A "Prime" a legmagasabb minőségű, és nagy pontosságú alkalmazásokhoz használják; A „CZ” a CZ módszerrel előállított egykristályos szilícium lapkákra utal.
Bevonat:Egyik sem, a natív oxid csak azt jelenti, hogy az ostya felületén nincs további filmréteg, csak egy természetesen kialakult szilícium-dioxid réteg.
Vastagság:525 µm (+/- 20 µm) az ostya vastagsága, és a hiba plusz-mínusz 20 mikronon belül szabályozható. A vastagság egyenletessége kritikus a következő feldolgozási lépéseknél.
Átmérő:A 100mm az ostya átmérőjét határozza meg.
Vetítés:<=30µm, the lower the warp, the better the wafer quality.
Meghajlás: <=30µm, similar to warping, it is also a measure of wafer flatness.
Fő elhelyezési él:32.5 +/- 2,5 mm az ostya fő pozicionáló élének hosszát jelzi, amely az ostya irányának meghatározására szolgál. Egyes ostyák másodlagos pozicionáló élekkel is rendelkeznek, az alábbiak szerint:
Felületi érdesség:0.2 - 0,3 nm, az egyik oldala polírozott, azt jelenti, hogy a szilíciumlapka egy polírozott szilíciumlapka, a felületi érdesség mértékegysége pedig nanométer.
