Mi a vékonyréteg-lerakódás egyenletessége?
A vékonyréteg egyenletessége a vékony film vastagságeloszlásának konzisztenciáját jelenti a teljes ostyán. A jó egyenletesség azt jelenti, hogy a vékony film vastagsága az ostya minden pontján nagyon közel van.
Melyek a vékonyréteg egyenletesség típusai?
Általában a következő típusokat tekintjük:
● Az ostyán belüli egységesség: Egységesség egyetlen ostyán belül.
● Ostya-ostya egyenletessége: Egyenletesség a különböző ostyák között.
● Tételenkénti egységesség: A különböző ostyatételek egységessége.
Hogyan számítják ki az egységességet?
Példaként az ostyán belüli egyenletességet tekintve a szórását a következő képlettel számítjuk ki:
Ez a képlet kiszámítja az egyes adatpontok közötti különbségek négyzetes átlagának és az adatok átlagának négyzetgyökét.
σ (szórás): Az adatok szórásának mértékét jelöli; minél nagyobb a szórás, annál nagyobb a szórás.
N: A mért adatpontok teljes száma.
Ti: Az i-edik adatpont vastagsági értéke.
Átlagos: Az összes adatpont átlagos értéke.
(ti−Közép)^2: Az egyes adatpontok és az átlag közötti különbség négyzetes.
∑: Összegzés.
A képlet kissé nehezen érthető, ezért álljon itt egy példa:
Tegyük fel, hogy van egy vékonyréteg-vastagsági adatpontkészletünk: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Először számítsa ki ennek a 10 pontnak az átlagát: Átlag=54.98.
●Ezután számítsa ki az egyes vastagságok és az átlag közötti négyzetes különbséget: {{0}}.0144, 0.0324, {{1{{12} }}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Adja össze ezeket a négyzetes különbségeket, és keresse meg az átlagot: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.{{6} }.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Végül számítsa ki a szórást: σ=0.193.
