Mi a szilícium ostya lapos éle?
A síkot pozícionáló élnek is nevezhetjük.
A 2, 4 és 6-hüvelykes szilícium lapkák nem teljesen kerekek, de van egy hiányzó sarka levágva. Miután a szilícium tuskát CZ módszerrel kihúzták, mielőtt szilícium lapkákra vágnák, a kristály orientáció meghatározása után egy vagy több lapos élt gyémántfűrésszel levágnak a tuskón. Ezért a szilícium ostyának 1-2 pozicionáló élei vannak, a hosszú pozicionáló él az ostya alján van, a rövid pozicionáló él pedig nincs rögzítve, a kristály orientációja és az adalékolás típusa szerint változik.
Mi a kapcsolat a pozicionáló él pozíciója és a kristály orientációja között?
A szilíciumlapkákhoz általában háromféle kristályorientáció létezik:<111> <110> <100>.
Ha a fő pozicionáló él és a másodlagos pozicionáló él közötti szög 45 fok, a szilícium lapka n-típusú<111>; ha a fő pozicionáló él és a másodlagos pozicionáló él közötti szög 90 fok, a szilícium lapka p-típusú<100>; ha a fő pozicionáló él és a másodlagos pozicionáló él közötti szög 180 fok, a szilícium lapka n típusú<100>. Mivel a<110>A kristály orientáció nem egy főáramú szilícium ostya kristály orientáció, nincs szabvány, amely ezt ábrázolná. A<110>A kristály orientáció a szilíciumlapka-szállító saját szabványai szerint ábrázolható.
Az elsődleges és másodlagos pozicionáló élek hossza rögzített?
Igen, mivel ezeknek meg kell felelniük a félvezető gyártó berendezéseknek, az elsődleges, elsődleges és másodlagos pozicionáló élek hossza és helyzete rögzített.
Általában egy 2- hüvelykes szilícium lapka elsődleges pozicionáló élének hossza 15,8 mm, egy 4- hüvelykes szilícium lapka elsődleges pozicionáló élének hossza 32,5 mm, az elsődleges pozicionáló éle pedig egy 6- hüvelykes szilícium lapka pozicionálási éle 57,5 mm. Egy 4-hüvelykes szilícium lapka másodlagos pozicionáló lapos élének hossza körülbelül 18 mm, a 6- hüvelykes szilícium lapka másodlagos pozicionáló lapos élének hossza pedig körülbelül 22 mm.
